海川机器人丨气浮运动平台之QFR系列气浮旋转台

2022-12-02 责任编辑：未填 浏览数：80 B2B商务网

核心提示：在国家大力发展高端制造，鼓励发展自主品牌的大背景下，由多年从事精密运动平台研发和生产的技术人员共同组建成立。团队具有多年核心部件研发经验，拥有多种高端应用领域经验，成熟的产品应用案例。经过多年精密运动

在国家大力发展高端制造，鼓励发展自主品牌的大背景下，由多年从事精密运动平台研发和生产的技术人员共同组建成立。团队具有多年核心部件研发经验，拥有多种高端应用领域经验，成熟的产品应用案例。经过多年精密运动平台的技术积累和沉淀，已形成了一整套完备的精密运动平台系统的研发和生产体系。特别在气浮理论计算、实验仿真分析、结构优化设计、精密集成组装和测试等方面具备雄厚的实力。



背景介绍backgroundintrodution



qfr系列气浮旋转台在极低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。qfr的设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、x射线衍射系统、光学检测和制造以及mems/纳米技术设备制造等高端行业。




密封式设计sealeddesigning



对qfr直驱旋转台进行了优化设计，使工作台面降到，这种设计结构有效的降低了工作点的高度，减少因与其他轴叠层引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重，不仅有较低的轴向和径向端跳误差，而且倾角误差比较小，由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴，有利于各种应用。



非接触式结构non-contactstruture





qfr采用无齿槽无电机和气浮轴承，限度的提高了定位性能。电机采用先进的磁路设计，以最小的热量产生高扭矩输出，无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，这使得qfr非常适合在低速或高速下平滑旋转等应用。




高精度性能highprecisionperformance



气浮转台采用精密圆光栅反馈，先进的驱动控制对光栅信号细分，分辨率达0.01角秒，轴向跳动误差

＜80nm。





定制化设计customdesign





气浮转台可安装滑环，用于空间模拟装置，mems和惯性导航等应用。





注：1.空气供应需清洁，干燥至0°f露点，灰尘颗粒过滤≤0.25um或纯度99.99%氮气。

2.以上精度测量的测试位置在工作台面中心以上25mm处，测试环境温度20±1℃，湿度40%-60%rh.

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